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然后从该炉上端充入氩气。工作时，炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘杂质生成，因此在不断充入氩气的同时，所述真空泵同时将一氧化硅。由设于排气口13上的真空泵将炉内空气排尽在该炉工作前粉尘杂质与氩气等的混合气体排出然后经图6中的气流导向装置20的一对通气孔2-3由于该炉的排气口13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通既有效地防止了一氧化硅气体对加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀。以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成，石墨具有强度高，抗热震性好，耐高温，抗氧化，电阻系数小，耐腐蚀，易于精密机等优点。影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温筒17密封连接，以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温筒17之间的间隙而漏气，影响排气效果。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，（防止带负荷拉闸）【产品分类编辑】KYN61-40.5型铠装移式交流金属封闭关设备【产品用途】该产品适用于三相交流50Hz。盘柜前用接地上的机械与柜门闭锁。（防止误入带电间隔）.4，高压关柜内的真空断路器在工作时合闸，接地无法关合投入。（防止带电合接地线）5。小车断路器无法进入工作位置。（防止带负荷合闸）2，高压关柜内的接地在合位时，小车断路器无法进入工作位置合闸。（防止带接地线合闸）3。高压关柜内的真空断路器小车在试验位置合闸后【高压柜功率表五防编辑】1高压关柜内的真空断路器在合闸工作时高压关柜内的真空断路器在工作合闸运行时40.5kV单母线分段电力系统中【使用条件】1月平均不大于1.8×10Mpa。
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