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其包括设于气流导向装 置(20)底部的中轴孔(2-1)，设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电 极孔(2-2)，以及设于所述中轴孔(2-1)两侧并与该炉的排气口 (13)相 对的通气孔(2-3)，该炉的石墨中轴(21)穿过所疼气流导向装置(20) 的中轴孔(2-1)，该炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2)， 该炉的排气口 (13)与气流导向装置(20)的各通气孔(2-3)相连通。

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进一步地，所述真空部件12设有除尘系统。当挥发物产生后，到达一定浓度时，抽真空，将挥发物从炉体内抽走，尽可能地不让挥发物接触、粘附到观察窗上；之所以设置除尘系统，是因为挥发物中含有的均是金属氧化物，不及时的话，容易堵塞真空部件的元器件，不利于连续生产。关电源的工作过程相当容易理解，在线性电源中，让率晶体管工作在线性模式，与线性电源不同的是，PWM关电源是让率晶体管工作在导通和关断的状态，在这两种状态中，加在率晶体管上的伏-安乘积是很小的（在导通时，电压低，电流大，关断时，电压高，电流小）/率器件上的伏安乘积是率半导体器件上所产生的损耗。